- Производитель:
- Sigma-Aldrich
Empirical Formula (Hill Notation): | C10H30N5Ta |
Linear Formula: | Ta(N(CH3)2)5 |
CAS Number: | 19824-59-0 |
Molecular Weight: | 401.33 |
MDL number: | MFCD01631286 |
PubChem Substance ID: | 24873088 |
NACRES: | NA.23 |
Packaging
5 g in glass bottle
Features and Benefits
Volatile solid CVD precursor to tantalum nitride (TaN) thin films. Also yields tantalum oxide (Ta2O5) thin films when O2, H2O, NO or H2O2 is present during the deposition process. Ta2O5 thins films show promise as gate dielectric materials in the manufacture of integrated circuits.
Quality Level | 100, |
assay | 99.99% |
form | solid |
reaction suitability | core: tantalum, reagent type: catalyst |
mp | 100 °C (dec.) (lit.) |
SMILES string | CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C |
InChI | 1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5 |
InChI key | VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N |
pictograms | GHS02,GHS05 |
signalword | Danger |
hcodes | H228 - H260 - H314 |
pcodes | P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338 |
Supp Hazards | EUH014 |
Personal Protective Equipment | Eyeshields,, Faceshields,, Gloves,, type P1 (EN143) respirator filter,, type P3 (EN 143) respirator cartridges, |
RIDADR | UN 3132 / PGI |
WGK Germany | WGK 3 |
Flash Point F | Not applicable |
Flash Point C | Not applicable |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа

С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии

Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.

У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.

Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.

Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.

В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.

Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.